低溫泵分為 熱油泵 注入式液氦低溫泵和閉路循環氣氦制冷機低溫泵兩種。 ①注入式液氦低溫泵:主要由液氦容器、泵體和連接擋板的液氮腔體等部分組成。為了減少液氦消耗,液氦容
低溫泵分為
熱油泵注入式液氦低溫泵和閉路循環氣氦制冷機低溫泵兩種。
①注入式液氦低溫泵:主要由液氦容器、泵體和連接擋板的液氮腔體等部分組成。為了減少液氦消耗,液氦容器的外壁采用雙層保溫壁并在其間抽成真空。當泵被預抽到10-6 帕壓力時灌入液氮和液氦,氣體凝結在4.2K的工作冷板上。經預抽使氦氫分壓到10-12帕數量級,故泵可獲得10-11帕以下的極限壓力。如果把液氦容器抽真空減壓到6650帕,液氦溫度可降到2.3K,則可得到更低的極限壓力。
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②閉路循環氣氦制冷機低溫泵:它是70年代出現的新型低溫泵(圖)。這種泵不消耗氦氣、操作簡便,易于維修,應用日漸廣泛。制冷機的制冷介質為氣氦,一級冷板溫度為50~100K,典型應用是65K,用來冷凝水蒸汽和預冷其他氣體;二級冷板溫度為10~20K,用來冷凝氮、氧和氬等氣體。在二級冷板的內表面涂以活性炭?;钚蕴康谋缺砻娣e為500~2500米2/克,在低溫下對氦、氖和氫有很強的吸附能力。冷板由無氧銅制成,表面拋光達到鏡面程度,以減小輻射系數。泵的極限壓力為10-7~10-8帕,工作壓力范圍為10-1~10-7帕,要求預抽壓力為1帕。制成的產品抽氣速率已達60000升/秒(1升=10-3米3)。此外,尚可根據工藝的特點把抽氣冷板安排在被抽容器內,其抽氣速率可達到106升/秒以上。