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      低溫泵結構特點

      時間:2013-02-27 16:33 作者:導熱油泵廠 點擊:
      低溫泵分為 熱油泵 注入式液氦低溫泵和閉路循環氣氦制冷機低溫泵兩種。 ①注入式液氦低溫泵:主要由液氦容器、泵體和連接擋板的液氮腔體等部分組成。為了減少液氦消耗,液氦容
      低溫泵分為熱油泵注入式液氦低溫泵和閉路循環氣氦制冷機低溫泵兩種。
      ①注入式液氦低溫泵:主要由液氦容器、泵體和連接擋板的液氮腔體等部分組成。為了減少液氦消耗,液氦容器的外壁采用雙層保溫壁并在其間抽成真空。當泵被預抽到10-6 帕壓力時灌入液氮和液氦,氣體凝結在4.2K的工作冷板上。經預抽使氦氫分壓到10-12帕數量級,故泵可獲得10-11帕以下的極限壓力。如果把液氦容器抽真空減壓到6650帕,液氦溫度可降到2.3K,則可得到更低的極限壓力。
        [1]
      ②閉路循環氣氦制冷機低溫泵:它是70年代出現的新型低溫泵(圖)。這種泵不消耗氦氣、操作簡便,易于維修,應用日漸廣泛。制冷機的制冷介質為氣氦,一級冷板溫度為50~100K,典型應用是65K,用來冷凝水蒸汽和預冷其他氣體;二級冷板溫度為10~20K,用來冷凝氮、氧和氬等氣體。在二級冷板的內表面涂以活性炭?;钚蕴康谋缺砻娣e為500~2500米2/克,在低溫下對氦、氖和氫有很強的吸附能力。冷板由無氧銅制成,表面拋光達到鏡面程度,以減小輻射系數。泵的極限壓力為10-7~10-8帕,工作壓力范圍為10-1~10-7帕,要求預抽壓力為1帕。制成的產品抽氣速率已達60000升/秒(1升=10-3米3)。此外,尚可根據工藝的特點把抽氣冷板安排在被抽容器內,其抽氣速率可達到106升/秒以上。
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